アプリケーションノートの第15回では、第14回の「ガラス基板上の金段差測定の比較」の結果に関しての考察をしてみたい思います。

ガラスと金薄膜のような光の吸収の異なる材料で構成された段差を測定した場合、レーザー顕微鏡（コンフォーカル顕微鏡）と白色干渉法との段差測定の結果に乖離が見らました。原子間力顕微鏡で検証した結果では、白色干渉法の測定値に奇妙なズレが生じていました。 いくつかの要因について検討し、計算によって 補正値の予測を試みました。

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