「OPTELICS IR」のご紹介
IRコンフォーカルマイクロスコープ 「OPTELICS IR」
高輝度な赤外線（IR）照明によるコンフォーカル光学系を搭載し、非破壊・非接触での高解像度IR観察と、高精度な測定を実現
「OPTELICS IR」は、高輝度な赤外線（以下、IR）照明によるコンフォーカル光学系を搭載し、非破壊・非接触での高解像度IR観察と、高精度な測定を実現します。シリコンウェハをはじめ、IRを透過する材料を用いたデバイスの内部観察に有効です。特に、近年急速な発展を遂げているアドバンスドパッケージング市場において、アライメントズレ測定、ボイド検査や接着剥がれの観察など研究開発やプロセス改善の用途に最適です。
用途
- シリコンウェハなど、IRの透過特性を持つ材料の透過内部観察
- 3次元実装評価・検査
- アドバンスドパッケージングデバイス内部不良解析
- 酸化膜犠牲層エッチングの非破壊エッチング量測定
- 貼り合わせズレ量測定
- SOI活性層厚み測定
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